艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、**地確定穩定的流量。
與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達其設定值，使其能夠抑制管線(xiàn)壓力波動(dòng)，因而不會(huì )影響您的過(guò)程下游。
定制化閥門(mén)選配項和出廠(chǎng)PID調節能確保您的MFC在具體應用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量?jì)x表的高性能：
在大多數流量?jì)x表上0.6*的讀數精度
4 ms響應時(shí)間 無(wú)需預熱
四個(gè)過(guò)程變量
內置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補償
溫度補償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
MC系列Alicat氣體質(zhì)量流量控制器是我們的標準質(zhì)量流量控制器，其型號眾多，可測量高達5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。 若管線(xiàn)壓力較高（145-305 psig），請選擇MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器。
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應用環(huán)境、泄漏測試，也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動(dòng)響應時(shí)間。
若您需要現有熱式質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)易替換件，MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門(mén)置于內部，使其工藝連接件與SEMI標準長(cháng)度相符。
對于真用應用，MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎上另增加一氣動(dòng)截止閥。
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列，專(zhuān)門(mén)設計用于OEM應用和大量訂單環(huán)境。
為滿(mǎn)足生物反應器市場(chǎng)的需求，Alicat發(fā)布了**上**專(zhuān)門(mén)用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。